超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの評価
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概要
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超音波マイクロスペクトロスコピー技術を合成石英ガラスの評価に適用した。音響特性(縦波音速、横波音速、漏洩弾性表面波速度、密度)、線膨張係数、仮想温度、および塩素濃度を測定し、それらの間の関係について検討を行った。仮想温度、塩素濃度に起因する音響特性の差を捉え、それらに対する音響特性の変化率を求めた。仮想温度、Cl濃度に対して、縦波音速が最も感度、分解能が高く、感度はそれぞれ5.99(m/s)/℃、-164wtppm/(m/s)、分解能は0.6℃、16wtppmとなった。また、仮想温度、Cl濃度による音速変化は主に弾性定数の変化に起因することを明らかにした。
- 2008-09-18
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