直線集束ビーム超音波顕微鏡によるSAWデバイス用LiNbO_3, LiTaO_3単結晶基板の評価・選別

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概要

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• 1999-09-20

著者

• 櫛引 淳一

  東北大学大学院工学研究科

• 大橋 雄二

  東北大学大学院工学研究科

• 小野 雄

  東北大学工学部電気工学科

• 小野 雄

  東北大学大学院工学研究科

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