マイクロLFB超音波材料解析システムのZnO単結晶評価への応用
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概要
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直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムの空間分解能を向上させたマイクロLFBデバイスを用いてZnO単結晶の評価を試みた。水熱合成法で作製された2個のZnO単結晶試料を準備し、ひとつは{001}面(±c面)、{100}面(m面)、{101}面(p面)に対して、もうひとつは種結晶を含む断面(±c面)に対してLSAW速度分布を測定した。前者の試料の+c面とm面は高抵抗で、-c面とp面は低抵抗であった。後者の試料は、種結晶と考えられる高抵抗な領域の周りに低抵抗領域があり、さらにその周りには再び高抵抗な領域があった。これはZnO単結晶の育成条件の変化を捉えたものと考えられ、この情報は結晶成長プロセスの理解に貢献できる。また、YX-ZnOを標準試料(圧電が関与しない)とすることで安定したシステム校正が簡易的に行えることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-09-22
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
吉田 翔
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大院工
-
坂上 登
東北大学大学院工学研究科
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