SAWデバイス用人工水晶の音響関連物理定数の精密測定
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概要
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本報告では, 現在広く用いられている市販のSAWグレードの人工水晶の音響関連物理定数(弾性定数、圧電定数、誘電率、密度)の精密測定を行った。定数を精密に決定するために適切なバルク波の伝搬方向およびモードを数値計算により選択し、1つの結晶から、定数決定用および定数決定精度確認用として、X, Y, Zの基本3面と複数の回転Y板を切り出した。これらの試料に対して、縦波音速、横波音速、誘電率、密度をそれぞれ高精度に測定することにより、すべての音響関連物理定数を決定した。定数決定に用いていない試料に対する音速の測定値と決定した定数による計算値を比較したところ、測定値と計算値は±0.2m/s(±0.004%)以内で一致した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-11
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
高長 和泉
東北大院・工
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
高長 和泉
東北大学大学院工学研究科
-
西山 祥一
東北大学大学院工学研究科
-
西山 祥一
東北院大・工
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