P3-11 六方晶系圧電単結晶の高精度音響関連物理定数決定に関する理論的検討(ポスター発表)
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概要
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A method of accurately determining acoustical physical constants of piezoelectric hexagonal single crystals (6mm) was theoretically investigated using the line-focus-beam (LFB) / plane-wave (PW) ultrasonic material characterization (UMC) system. Proper combinations of propagation directions and modes that make errors in the determined constants small were selected through calculations using the published constants of A1N, GaN, ZnO, and 6H-SiC. Consequently, we developed the procedure of determining the_constants using only three specimens of Y-, Z-, and rotated Y-cut substrates ((101^^-1) plane for A1N, GaN, ZnO, (101^^-5) plane for 6H-SiC).
- 2006-11-15
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
小田川 裕之
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
荒川 元孝
東北大院・工
-
大橋 雄二
東北大院・工
-
荒川 元孝
東北大院工
-
小田川 裕之
東北大院・工
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