LFB超音波材料解析システムによるLiTaO_3単結晶に対するキュリー温度の校正
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概要
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市販のLiTaO_3単結晶の化学組成評価において主に用いられているキュリー温度T_cについて、直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムにより測定されるRayleighタイプの漏洩弾性表面波(LSAW)速度V_<LSAW>を用いて統一的に比較・評価した。結晶製造業者4社の36° YX-LiTaO_3単結晶ウェハに対してV_<LSAW>および同一条件下でT_c(standardized)を測定し、各社で測定したT_c(individual)との関係を求めた。T_c(individual)とV_<LSAW>の関係は各社毎に異なり、一方、T_c(standardized)とV_<LSAW>の関係は結晶の製造業者に関係なく全てのウェハに対して、一直線で表せる比例関係が得られた。これらの実験結果より、T_cの測定条件および測定装置の絶対精度に関連する問題があることを明らかにした。さらに、実際のSHタイプSAWフィルタデバイスを作製し、その中心周波数とV_<LSAW>の測定結果を比較した。SAWデバイス用単結晶ウェハの統一規格を確立するために、本超音波法を用いたT_cの校正法を提案した。
- 2002-09-13
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