LFB超音波材料解析システムによるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの線膨張係数評価のための正確な検量線
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概要
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直線集束ビーム超音波材料解析システムにより超低膨張ガラスの線膨張係数を超精密に評価する新しい技術のための漏洩弾性表面波速度とTiO_2濃度との間の正確な関係を求めた。周期的な脈理を有する市販のTiO_2-SiO_2ガラスを用いて、脈理面に垂直に用意した7枚の試料基板に対して、225MHzにおいて脈理面に平行にLSAWを伝搬させたときの平均的な速度と蛍光X線分析による平均的なTiO_2濃度を測定した。TiO_2濃度に対するLSAW速度の感度は-0.06006 wt%/(m/s)となり、LSAW速度の分解能が±0.14m/sであることから、その分解能は±0.0084 wt% (±2σ)と見積もられた。
- 2005-09-23
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