バルク超音波パルスを用いた音速測定における接着層の影響の補正
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概要
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本報では、平面超音波デバイスに試料を接着し音速の精密測定を行うために、接着層における位相変化の補正法を検討した。接着剤としてサロールを取り上げ、VHF帯においてその補正法を理論的・実験的に検討した。試料として、水をカプラとして縦波の音速、減衰を測定し、その真値が既知である合成石英ガラスを用いた。補正の精度を検討するために、試料をサロールにより超音波デバイスに接着して縦波音速を測定した。接着層の影響の補正の際に、その速度分散、減衰の周波数依存性を考慮することにより、真値と±0.08m/s以内で一致する結果が得られた。また、7回の横波音速測定を行った結果、その最大偏差は0.13m/sとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-09-19
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