1Pb-24 LFB超音波材料解析システムによる多結晶ダイヤモンド膜の評価(ポスターセッション)
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概要
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In this paper, we tried to characterize polycrystalline diamond films fabricated on Si substrates by two methods, through the measurements of the frequency dependences of LSAW velocity and attenuation by the LFB-UMC system. In the results, we observed significant differences in velocity and attenuation caused by the fabrication methods and conditions. In the near future, we will discuss the effects of polycrystalline structure on elastic constants and those of nano-grain size on scattering by preparing UNCD films with denser structure.
- 2010-12-06
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大学 工学部
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
近藤 貴則
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大院工
-
藤井 知
セイコーエプソン株式会社
-
藤井 知
千葉大学産学連携
-
Joseph P.
国立清華大学
-
Lin I-Nan
淡江大学
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