直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄い試料に対する速度測定における補正法
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概要
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直線集束ビーム超音波顕微鏡により漏洩弾性表面波(LSAW)の速度測定を行う場合、裏面反射波の影響により測定値が変化する薄い試料に対しては、LSAW速度の周波数特性の測定値に対し移動平均を行なうことによりその影響は除去できる。しかし、試料面上の2次元的な速度分布の測定を行う場合、この手法では非常に多くの時間を要する。そこで本報では、測定時間の短縮を目指した測定値の補正法を提案した。この方法は、見掛け上の音速変化が試料厚さと超音波周波数の積に依存していると仮定し、試料面上の基準点におけるLSAW速度の周波数特性をもとに、試料厚さの変化と等価な周波数変化と音速変化の関係(換算曲線)を求め、各測定値に含まれる裏面反射波の影響による音速変化分を見積もり、補正するものである。3インチのZ-cut LiNbO_3ウェハ試料の直径上におけるLSAW速度分布の測定値にこの補正法を適用し、その有用性を示した。
- 1998-06-16
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