LFB超音波材料解析システムによるアニーリング処理したLiTaO_3プロトン交換光導波路の評価
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概要
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直線集束ビーム(LFB)超音波材料解析システムをプロトン交換およびアニーリングにより作製したZ-cut LiTaO_3プロトン交換光導波路の評価に適用した。260℃で14分間プロトン交換し、420℃で10秒〜24時間アニーリングしたZ-cut LiTaO_3試料を12個作製した。超音波周波数225MHzにおける漏洩弾性表面波(LSAW)速度は、プロトン交換によって約78m/s低下し、アニーリングによって上昇する。アニーリングによるLSAW速度変化は、処理時間が長いほど大きく11m/s〜73m/sである。LSAW速度は超音波周波数fとプロトン拡散層深さHの積fHが大きいほど低下する。LSAW速度のfH依存性の勾配はアニーリング時間が長いほど緩やかになり、プロトン拡散層中の水素およびリチウムの濃度に依存することが分かった。また、LSAW速度と処理時間、プロトン拡散層深さ、水素の表面濃度、およびLSAW速度のfH依存性の勾配との関係を実験的に明らかにした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-06-13
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