超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの仮想温度評価に関する検討
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概要
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超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英(Sio_2)ガラスの仮想温度T_Fの評価法を開発した。OH濃度が異なる2種類の市販SiO_2ガラスから用意した試料に対して、900-1200℃の間の所望の熱処理温度において熱処理を行った。縦波と横波の音速(V_1, V_s)、漏洩弾性表面波速度(V_<LSAW>)、密度(ρ)の測定を行った。V_1は熱処理温度に対して最も変化が大きかった。T_Fに対して線形の関係が報告されているρとV_1との間の関係を利用し、音響特性のT_F依存性を求めた。OH濃度の違いに起因する仮想温度依存性の違いを捉えた。V_1は、T_Fに対する分解能が0.3-0.4℃と最も高く、ラマン分光分析法や赤外吸光分析法などの従来法よりも40-150倍高い。V_<LSAW>は約10℃の分解能で試料表面のT_Fの二次元分布を計測することが可能である。本超音波法は、Sio_2ガラスのT_F評価法として、極めて有効である。
- 2010-09-22
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
丸山 由子
東北大学大学院工学研究科
-
近藤 貴則
東北大学大学院工学研究科
-
吉田 哲男
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大院工
-
丸山 由子
東北大院工
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