La_3Ta_<0.5>Ga_<5.3>Al_<0.2>O_<14>単結晶の音響関連物理定数

概要

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超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術と共振法を組み合わせることによって、La_3Ta_<0.5>Ga_<5.3>Al_<0.2>O_<14>(LTGA)単結晶に対する高精度音響関連物理定数とその温度係数を測定した。LTGAインゴットから切出したX-、Y-、Z-、29.14°Y-、150.86°Y-cut試料に対し、UMS技術を用いて20、23、26℃での音響特性を測定した。得られた測定値(縦波音速、横波音速、誘電率、密度、熱膨張係数)を用いて、室温近傍の音響関連物理定数と温度係数を求めた。決定した定数の精度を確認するために、LSAW速度測定値と23℃の定数を用いた計算値を比較したところ、すべての伝搬方向において-3.0〜1.1m/sの範囲内でよく一致した。同一のインゴットから切出した4種類のX-cut回転Y棒(-30°Y、-15°Y、0°Y、+30°Y)とY-cut短冊板を用いて、共振法により-30〜+80℃の範囲の温度係数を求めた。この温度係数を、室温近傍の狭い温度範囲であるがUMS技術により正確に求められた結果を用いて補正した。本手法により、所望の温度範囲で、より信頼性のある定数と温度係数が得られると考えられる。
2010-09-22