ダイヤモンド単結晶の基礎音響特性および格子定数測定(非線形・一般)

概要

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高温高圧(HPHT)法により作製されたType Ibの(100)ダイヤモンド基板上にマイクロ波プラズマ(MP)CVD法を繰り返し適用することで育成したダイヤモンド単結晶に対して基礎音響特性および格子定数の測定を通して評価を行なった。格子定数は、HPHT基板に比べてMPCVD基板の方が小さく、その差は約0.0013%であった。また、HPHT種基板部も含めたMPCVD成長断面において、最大で0.0018%の格子定数変動を示した。透過X線トポグラフィ像やロッキングカーブのピーク強度・半値幅との比較から、MPCVD成長の前半は格子の完全性が高く、後半にはそれが低下することを示した。一方、直線集束ビーム超音波材料解析システムによる漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定においては、HPHT基板とMPCVD基板の間に明確な差は検出されなかった。また、MPCVD成長軸方向においては、測定精度(±2σ=±0.049%, σは標準偏差)よりも大きな分布が検出されたものの、格子定数の結果とは異なり速度プロファイルはほぼ平坦であった。
社団法人電子情報通信学会の論文
2007-05-23