杢野 由明 | (独)産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
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概要
関連著者
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杢野 由明
(独)産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
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茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所材料物理部
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大阪工業技術研究所
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堀野 裕治
産総研
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堀野 裕治
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茶谷原 昭義
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大阪工業技術
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堀野 裕治
工業技術院 大阪工業技術研究所
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木内 正人
大阪工業技術研究所
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大阪工業技術研究所
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東北大学大学院工学研究科
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大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
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産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター
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蚕糸・昆虫農業技術研究所
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鹿田 真一
(独)産業技術総合研究所ダイヤモンド研究センター
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茶谷原 昭義
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木野村 淳
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荒川 元孝
東北大院工
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茶谷原 昭義
工業技術院 大阪工業技術研究所
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坪内 信輝
工業技術院 大阪工業技術研究所
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藤井 兼栄
工業技術院 大阪工業技術研究所
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鹿田 真一
(独)産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
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山田 英明
(独)産業技術総合研究所
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坪内 信輝
(独)産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
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茶谷原 昭義
(独)産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
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鹿田 真一
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著作論文
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- 高温高ドーズMeVイオン注入によるSiC埋め込み層の形成
- バナジウム薄膜へのイオン注入による窒化
- 重イオンによるマイクロ粒子励起X線 (PIXE) 分析法とその応用
- 同軸型真空アーク蒸着源
- 重イオンマイクロビームの形成とその応用
- 高速イオンマイクロプローブによる局所分析
- 単結晶ダイヤモンド・ウェハの開発--マイクロ波プラズマCVD法による大型化とウェハ化技術
- 重イオンマイクロビームとその応用
- 1P1-8 大型ダイヤモンドウェハの開発(ポスターセッション)