同軸型真空アーク蒸着源
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概要
著者
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藤井 兼栄
大阪工業技術試験所
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茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所
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堀野 裕治
産総研
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杢野 由明
大阪工業技術研
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木野村 淳
大阪工業技術
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木野村 淳
(独)産業技術総合研究所
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堀野 裕治
大阪工業技術研究所
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堀野 裕治
独立行政法人産業技術総合研究所関西センター
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坪内 信輝
大阪工業技術研究所
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茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所材料物理部
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藤井 兼榮
大阪工技研
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杢野 由明
(独)産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ
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