坪内 信輝 | 大阪工業技術研究所

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概要

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• 大阪工業技術研究所の論文著者

関連著者

• 藤井 兼栄

  大阪工業技術試験所

• 茶谷原 昭義

  大阪工業技術研究所

• 堀野 裕治

  産総研

• 木野村 淳

  大阪工業技術

• 木野村 淳

  (独)産業技術総合研究所

• 堀野 裕治

  大阪工業技術研究所

• 堀野 裕治

  独立行政法人産業技術総合研究所関西センター

• 坪内 信輝

  大阪工業技術研究所

• 茶谷原 昭義

  大阪工業技術研究所材料物理部

• 藤井 兼榮

  大阪工技研

• 杢野 由明

  大阪工業技術研

• 杢野 由明

  (独)産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究ラボ

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著作論文

• 同軸型真空アーク蒸着源
• 正負イオンを用いた物質合成装置の開発
• 3. 工業利用 3. 2イオン注入による表面改質, 表面処理, 欠陥生成
• 正負イオンビームによる膜合成
• 高速イオンマイクロプローブによる局所分析

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