堀野 裕治 | 工業技術院 大阪工業技術研究所

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著作論文

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• 同軸型真空アーク源を用いたプラズマイオン注入
• 大工研におけるイオン・プラズマを用いた表面改質技術
• 低エネルギー正・負イオンビームによる材料形成
• 重イオンによるマイクロ粒子励起X線 (PIXE) 分析法とその応用
• 重イオンマイクロビームの形成とその応用
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