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上田 完 | 大阪工業技術研究所
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堀野 裕治
大阪工業技術研究所
堀野 裕治
工業技術院 大阪工業技術研究所
上田 完
大阪工業技術研究所
著作論文
同軸型真空アーク源を用いたプラズマイオン注入
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