LFB超音波材料解析システムによる量産された市販LiTaO_3単結晶の評価(一般及び非線形音響)

概要

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最大60チャージの結晶量産を行なっている一製造業者のSAWデバイス用LiTaO_3単結晶製造ラインの評価にLFB超音波材料解析システムを適用した。育成炉に関係なくランダムに抽出した21枚の36°yy-LiTaO_3ウェハ、および一育成炉で連続的に育成した39インゴットのうちの5インゴットから抽出した14枚の42°YX-LiTaO_3ウェハに対するRayleighタイプ漏洩弾性表面波(LSAW)速度(V_<LSAW>)を測定し、キュリー温度(Tc)測定結果と比較した。V_<LSAW>は、各結晶インゴット内で上部から下部にかけて約1m/s上昇してはいるものの、チャージ回数に対する依存性はほとんど見られなかった。量産における融液組成を見積もったところ平均48.77Li_2O-mol%、偏差が0.75Li_2O-mol%であった。これは、42°XY-LiTaO_3結晶に対するV_<LSAW>の育成軸方向分布の結果から見積もったコングルエント組成48.49Li_2O-mol%よりも約0.3Li_2O-mol%高い。また、化学組成分析法として主に用いられているTc測定においてより信頼性の高い測定値を得るためには、その測定温度環境の安定化も重要な要素であることを指摘した。
2003-05-21