直線集束ビーム超音波顕微鏡による光学用LiTaO_3単結晶の均質性の評価
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概要
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本報では、直線集束ビーム超音波顕微鏡を光学用LiTaO_3単結晶の均質性の評価に適用した。最初に、原料仕込み時のLi_2O濃度を48.0、48.5、49.0mol%およびコングルエント組成とした4つのLiTaO_3単結晶を用いて、漏洩弾性表面波(LSAW)速度と化学組成比、キュリー温度、密度、格子定数の関係を実験的に検討し、評価に用いる検量線を作成した。その結果、化学組成比の変化を最も感度良く検出するためには、Z-cut基板を試料としてY軸方向伝搬のLSAWを用いればよく、その感度は0.032Li_2Omol%/(m/s)であることがわかった。次に、各単結晶を評価したところ、結晶育成過程における融液の組成変動に起因した結晶内の化学組成比分布を、LSAW速度の分布として検出することができた。市販のコングルエント組成の光学用単結晶においては、育成軸に沿ってLSAW速度で0.45m/sの分布が捉えられた。これは化学組成比で0.015Li_2Omol%の分布と見積られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-09-17
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