LFB超音波材料解析システムによる損失のある試料に対する漏洩弾性表面波伝搬特性の測定
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概要
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表面粗さの異なるZnO多結晶薄膜/合成石英ガラス基板構造試料に対して、直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムにより測定される漏洩弾性表面波(LSAW)伝搬特性(位相速度、伝搬減衰)の測定値に現れる表面散乱の影響について検討した。DCスパッタリング法により厚さ10μmのZnO膜を成膜し、透明で表面が平坦な膜と白濁して表面が粗い膜を準備した。両試料に対し100-300MHzの範囲でLSAW伝搬特性を測定した結果、単結晶を仮定したZnO膜の場合の計算値に比べ、平坦膜のLSAW速度は30〜40m/s、粗い膜のLSAW速度は46〜66m/s低下した。規格化伝搬減衰の結果においては、平坦膜では計算値との差は0.0004だけわずかに大きいがほぼ一定値で、粗い膜では計算値より0.0008〜0.0034大きく、高周波になるほどその差が増大した。平坦膜と粗い膜の結果の差を求めることにより、試料表面における散乱によるLSAW伝搬特性の変化を抽出した。
- 2010-09-22
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
近藤 貴則
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大院工
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