直線集束ビーム超音波顕微鏡によるLiTaO_3プロトン交換光導波路の深さとその作製温度の評価法
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概要
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本報では、直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡を用いてLiTaO_3プロトン交換光導波路に対して測定されたLSAW速度とプロセスの条件との関係について基礎的な検討を行なった。LSAW速度とプロトン交換層深さおよび拡散係数との関係を明らかにし、文献により与えられる拡散係数を用いて、LSAW速度とプロセス温度とを関係づけ、LSAW速度からプロセスの条件を定量的に評価する方法について検討した。この手法をLSAW速度の二次元分布の測定結果に適用し、プロトン交換層の深さおよびプロセスの条件の分布を定量的に推定し作製プロセスの評価を試みた。その結果、LFB超音波顕微鏡によるプロトン交換層およびその作製プロセスの特性解析・評価の可能性を示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大学工学部
-
櫛引 淳一
東北大・工
-
宮下 雅仁
東北大学大学院工学研究科
-
宮下 雅仁
東北大学工学部電気工学科
-
櫛引 淳一
東北大学工学部電気工学科
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