超音波計測と電気電子材料(アコースティックイメージング,一般)

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概要

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著者は40年以上にわたってVHF・UHF帯の集束超音波や平面超音波を用いた、超音波計測とその応用に関わる研究教育に従事してきた。超音波顕微鏡技術の研究をする中で、「直線集束ビーム超音波顕微鏡」を開発した。「超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術」としてまとめ、弾性表面波やバルク波速度を0.001%で計測できる技術に仕上げた。そして、LiNbO_3, LiTaO_3, ZnO, AlN,人工水晶の単結晶やシリカ系ガラスなど、バルクや薄膜の材料に応用するための実験計測手順、すなわち辞書作りをし、材料科学における新しい測定・分析技術として仕上げた。本論文では、研究の背景といくつかの代表的成果を概観する。
2012-02-16

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