超音波ゼロCTE温度計測システムにより評価したEUVLシステム用TiO_2-SiO_2超低膨張ガラス
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
我々は、TiO_2-SiO_2超低膨張(ULE)ガラスのゼロCTE温度{T(zero-CTE)}を超精密に計測するための超音波計測による間接法とその実用的なシステムを開発した。本報では、TiO_2-SiO_2 ULEガラスのT(zero-CTE)、音響特性(漏洩弾性表面波速度、縦波音速、横波音速、および密度)、TiO_2濃度{C(TiO_2)}、仮想温度(T_F)、OH濃度{C(OH)}の間の関係を求めた。TiO_2-SiO_2 ULEガラスにおいて、C(TiO_2)が6-9wt%、T_Fが770-1110℃、OH濃度が0-1000wtppmのときに、T(zero-CTE)が-74℃から145℃の範囲のガラスが得られることを実証した。
- 2011-11-17
著者
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
丸山 由子
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大院工
-
丸山 由子
東北大院工
関連論文
- P3-11 六方晶系圧電単結晶の高精度音響関連物理定数決定に関する理論的検討(ポスター発表)
- ダイヤモンド単結晶の基礎音響特性および格子定数測定(非線形・一般)
- LFB超音波材料解析システムによるTiO_2-SiO_2ガラスの脈理の評価法 : 内部構造の実験的検討
- LFB超音波材料解析システムによる石英ガラス上のZnO多結晶薄膜の評価
- LFB/PW超音波材料解析システムを用いたZnO単結晶の音響特性の測定
- Sr_3TaGa_3Si_2O_, Sr_3NbGa_3Si_2O_単結晶の音響関連物理定数の測定
- 3J1-3 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を用いた4H-SiC単結晶の評価(超音波物性・光超音波)
- マイクロLFB超音波デバイスの開発
- P2-20 コングルエントLiNbO_3単結晶の超音波マイクロスペクトロスコピー(ポスターセッション2(概要講演))
- コングルエントLiNbO_3単結晶の超音波マイクロスペクトロスコピー(一般・材料)
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの評価
- LFB超音波材料解析システムによる漏洩弾性表面波伝搬特性の測定モデル
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるゼロ膨張ガラスの超精密評価(最新の超音波計測技術)
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いたスート法により作製したTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの評価
- 超音波マイクロスペクトロスコピーと材料評価法の開発
- 超音波マイクロスペクトロスコピーと材料評価法の開発
- 石英系ガラスの超音波スペクトロスコピー
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる極端紫外線リソグラフィー用超低膨張ガラスの超精密評価法の開発
- LFB超音波材料解析システムによるEUVL用TiO_2-SiO_2超低膨張ガラス基板の評価・選別法の検討(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- LFB超音波材料解析システムの測定再現性の改善
- LFB超音波材料解析システムの測定再現性の改善
- LFB/PW超音波材料解析システムによるClass32結晶の音響関連物理定数の一決定法
- PD2 直線集束ビーム超音波顕微鏡によるLiNbO_3単結晶の化学組成評価(バルク波デバイス,ポスターセッション2)
- La_3Ta_Ga_Al_O_単結晶の音響関連物理定数
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの仮想温度評価に関する検討
- LFB超音波材料解析システムによる損失のある試料に対する漏洩弾性表面波伝搬特性の測定
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を用いたSiC単結晶の基礎音響特性評価(アコースティックイメージング,一般)
- 直線集束ビーム/平面波超音波材料解析システムによるAlN単結晶の音響関連物理定数決定に関する検討
- 1-01P-62 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるAIN単結晶の評価(ポスターセッション 1)
- トピックス68 超音波顕微鏡(〈特集〉-音響学における20世紀の成果と21世紀に残された課題-)
- D-10 生体超音波スペクトロスコピー・システムによる生体物質の音響特性の周波数依存性解析法(計測法)
- 生体超音波スペクトロスコピー・システムによる生体物質の音響特性の周波数依存性解析法
- LFB/PW超音波材料解析システムによる天然水晶と人工水晶の音響特性の比較
- LiNbO_3, LiTaO_3単結晶の音響関連物理定数の化学組成比依存性
- SAWデバイス用人工水晶の音響関連物理定数の精密測定
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術と石英ガラスの評価への応用
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の音響関連物理定数の決定 (超音波)
- 1J2-4 マイクロLFB超音波材料解析システムのZnO単結晶評価への応用(測定技術,映像法,非破壊評価II)
- マイクロLFB超音波材料解析システムのZnO単結晶評価への応用
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による六方晶系6mm単結晶の音響関連物理定数決定法の検討
- 1P2a-9 マイクロLFB超音波デバイスの開発(ポスターセッション)
- 1P2a-1 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの評価(ポスターセッション)
- 1J2a-1 LFB超音波材料解析システムによる漏洩弾性表面波伝搬特性の測定モデル(測定技術)
- 1-01-01 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の評価(超音波物性・材料・フォノン物理)
- B-5 精密音速測定を目指したバルク超音波トランスデューサの円形ピストン音源としての実効径の評価(材料・計測,口頭発表)
- 精密音速測定を目指したバルク超音波トランスデューサの円形ピストン音源としての実効径の評価
- 2E-7 La_3Ta_Ga_Al_O_単結晶の音響関連物理定数と温度係数の測定(超音波物性,フォノン物理,光超音波エレクトロニクス&非線形,強力超音波,ソノケミストリー)
- 薄層多重反射法を用いたUHF帯における液体試料の縦波音響特性の測定法と糖類水溶液への適用
- C-4 LFB超音波材料解析システムによるLiTaO_3分極反転層作製プロセスの定量評価(光-超音波エレクトロニクス・非破壊検査,口頭発表)
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるLiTaO_3分極反転層作製プロセスの定量評価
- LFB超音波材料解析システムによるアニーリング処理したLiTaO_3プロトン交換光導波路の評価
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡による光導波型デバイス作製システムの評価 : プロトン交換システムへの適用
- OC1 直線集束ビーム超音波顕微鏡によるLiTaO_3プロトン交換光導波路の深さとその作製温度の評価法(計測)
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡によるLiTaO_3プロトン交換光導波路の深さとその作製温度の評価法
- 超高周波平面超音波を用いた液体の非線形パラメータの比較測定法 : 周波数掃引方式
- 3J-4 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの仮想温度評価法(測定技術,映像法,非破壊評価)
- 1Pb-24 LFB超音波材料解析システムによる多結晶ダイヤモンド膜の評価(ポスターセッション)
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の評価
- 六方晶系圧電単結晶の高精度音響関連物理定数決定に関する理論的検討
- LFB超音波材料解析システムによるTiO_2-SiO_2ガラスの脈理の評価法 : 正確な漏洩弾性表面波速度の計測
- P3-39 LFB超音波材料解析システムによるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの線膨張係数評価のための正確な検量線(ポスターセッション3(概要講演))
- I-3 LFB超音波材料解析システムによるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスに対する漏洩弾性表面波速度の高精度測定(測定法・映像法・非破壊検査)
- LFB超音波材料解析システムによるTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの線膨張係数評価のための正確な検量線
- 脈理のある超低膨張ガラス評価のためのLFB超音波材料解析システム用標準試料とその音響特性
- LFB超音波材料解析システムによる高波形減衰率材料に対する漏洩弾性表面波速度測定の精度向上
- LFB超音波材料解析システムによる高波形減衰率材料に対する漏洩弾性表面波速度測定の精度向上
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いた超低膨張ガラスの線膨張係数の超精密評価法(一般・材料)
- D-5 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス材料の評価(非破壊検査)
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるガラス材料の評価
- LFB超音波材料解析システムによる量産された市販LiTaO_3単結晶の評価(一般及び非線形音響)
- H-5 LFB超音波材料解析システムによるLiTaO_3単結晶に対するキュリー温度の校正(弾性表面波デバイス,口頭発表)
- B-4 LFB超音波材料解析システムの絶対校正のための適切な標準試料(材料・計測,口頭発表)
- LFB超音波材料解析システムによるLiTaO_3単結晶に対するキュリー温度の校正
- LFB超音波材料解析システムの絶対校正精度に関する検討 : 適切な標準試料の選択
- LFB超音波材料解析システムによるSHタイプSAWデバイス用LiTaO_3単結晶基板の評価
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡によるSAWデバイス用LiNbO_3, LiTaO_3単結晶基板の評価・選別
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄い試料に対する材料評価法
- OE8 直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄い試料に対する漏洩弾性表面波の伝搬特性の測定(材料・評価,SAWデバイス,口頭発表)
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄い試料に対する速度測定における補正法
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡による材料評価法における試料裏面反射波の影響
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄い試料に対する音速測定における校正法 -実験的検討-
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄い試料に対する音速測定における校正法 -理論的検討-
- 固体参照試料を用いたUHF帯縦波音響特性測定における薄層厚の検討
- 1)機械走査型超音波顕微鏡の試作とそれによる生物組織の観察(画像技術応用研究会(第38回))
- A-2 サファイア単結晶の弾性定数の精密測定(超音波物性・材料、フォノン)
- サファイア単結晶の弾性定数の精密測定
- P3-67 超高周波平面超音波材料解析システムによる縦波音響特性測定における薄層厚の検討(ポスターセッション3(概要講演))
- 超高周波平面超音波材料解析システムによるUHF帯における固体試料の縦波音響特性の測定
- 超高周波平面超音波材料解析システムによるUHF帯における固体試料の音響特性の測定
- 固体参照試料を用いたVHF・UHF帯における損失のある薄層試料の音響特性の測定
- バルク超音波パルスを用いた音速測定における接着層の影響の補正
- PB05 VHF帯におけるサロールの縦波・横波音響特性の測定(ポスターセッションI)
- VHF帯におけるサロールの縦波・横波音響特性の測定
- バルク超音波パルス干渉法による音速の精密測定に関する検討
- 複素量計測による水の音響特性測定
- PF-12 バルク超音波パルスを用いた音速測定における回折の影響
- 直線集束ビーム超音波顕微鏡による光学用LiTaO_3単結晶の均質性の評価
- LiNbO_3, LiTaO_3単結晶の超音波マイクロスペクトロスコピー
- 標準試料を用いた直線集束ビーム超音波顕微鏡システムの校正
- バルク超音波パルス干渉法による非圧電立方晶単結晶の弾性定数の決定 -弾性定数の室温付近における温度依存性-