超臨界CO_2中における弾性表面波共振子の共振特性
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概要
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気体と液体の性状を有する超臨界流体を利用した,マイクロ・ナノ材料加工に関する研究開発が活発に行われているが,反応速度の加速などを誘起する分子分布の不均一性,「密度ゆらぎ」が問題点として挙げられている.表面物性に優れたセンシング能力を有する弾性表面波を利用すれば,密度ゆらぎセンサの実現が期待できる.本報告では,36°YX-LiTaO_3基板を用いた横波型弾性表面波共振子のCO_2圧力に対する共振特性,および合成石英基板上に形成した微小電極のCO_2圧力に対するインピーダンス特性をそれぞれ評価した.横波型弾性表面波共振子では,気相/液相間における密度と粘度の急激な変化を反映した共振特性の変化が観測され,微小電極では,誘電率変化を反映した不連続なインピーダンス変化が観測された.
- 2011-10-24
著者
-
垣尾 省司
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
近藤 英一
山梨大学大学院
-
林 克洋
山梨大院医工
-
近藤 英一
山梨大学
-
林 克洋
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
近藤 英一
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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