超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス : 細孔の評価と洗浄
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概要
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超臨界二酸化炭素は,ナノレベルの浸透性,表面張力がゼロ,溶媒能などをあわせ持つ特異な流体である.これらの特長は多孔質低誘電率薄膜のプロセスに最適であり,細孔内部の洗浄,ポストドライエッチクリーニング,細孔の内部修飾まで広く適用が可能である.超臨界流体中での細孔エンジニアリングの詳細な研究データはこれまでほとんどない.この研究では,著者らが開発した超臨界流体中のその場エリプソメトリを用いて超臨界中での多孔質薄膜の挙動を考察し洗浄や浸透過程の解析に適用した例について述べている.
- 2010-07-22
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