20112 超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術 : フロー式成膜実験装置を用いた堆積特性の検討(機械工学が支援する最先端デバイス技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
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概要
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Supercritical fluid is a high-pressure medium that possesses unique features such as solvent ability and nano penetration capability. Dissolving organic metallic conpounds in Supercritical fluid enable to depositon Cu thin films. We have developed a continuous flow reaction system that controls deposition parameters precisely. We recently succeed in improving H_2 gas mixing unit. In this paper, we discuss the effect of H_2 addition on deposition characteeristics.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-03-09
著者
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近藤 英一
山梨大学 大学院医学工学総合研究部
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廣瀬 みちる
山梨大学
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廣瀬 みちる
山梨大学(院)
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福田 順平
山梨大学(院)
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近藤 英一
山梨大学(院)
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近藤 英一
山梨大学
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近藤 英一
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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