Deposition of Cu and Ru Thin Films in Deep Nanotrenches/Holes Using Supercritical Carbon Dioxide
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2004-06-30
著者
-
近藤 英一
山梨大学 大学院医学工学総合研究部
-
KONDOH Eiichi
Interdisciplinary Graduate School of Medicine and Engineering Department of Mechanical System Engine
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