近藤 英一 | 山梨大学 大学院医学工学総合研究部
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概要
関連著者
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近藤 英一
山梨大学 大学院医学工学総合研究部
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近藤 英一
山梨大学
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近藤 英一
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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近藤 英一
山梨大学大学院医学工学総合研究部情報システム工学系(機械情報システム専攻)
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松原 正弘
山梨大学 大学院医学工学総合教育部
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近藤 英一
山梨大学大学院
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近藤 英一
山梨大
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近藤 英一
山梨大学工学部
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渡邉 満洋
山梨大学 大学院医学工学総合研究部
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加藤 初弘
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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加藤 初弘
山梨大学
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廣瀬 みちる
山梨大学
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福田 順平
山梨大学(院)
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近藤 英一
山梨大学(院)
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KONDOH Eiichi
Interdisciplinary Graduate School of Medicine and Engineering Department of Mechanical System Engine
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秋本 竜昇
山梨大学
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秋本 竜昇
山梨大学 大学院医学工学総合教育部
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後藤 元信
熊本大学 バイオエレクトリクス研究センター
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松村 道雄
大阪大学有機光工学研究センター
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中村 正信
山梨大学工学部
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中村 正信
山梨大学
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鈴木 雅文
山梨大学
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後藤 元信
熊本大学バイオエレクトリクス研究センター
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東 秀憲
金沢大学理工研究域自然システム学系
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スミス リチャード
東北大学大学院環境科学研究科
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松田 知子
東京工業大学大学院生命理工学研究科
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野中 利之
フロムシード(株)
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川崎 慎一朗
(独)産業技術総合研究所
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松原 正弘
山梨大学大学院
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秋津 哲也
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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松村 道雄
大阪大
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玉井 架
山梨大
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李 佳龍
大阪大
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松田 知子
東京工大 大学院生命理工学研究科
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秋津 哲也
山梨大学大学院
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有賀 庄作
山梨大学
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堀内 愛
山梨大学
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廣瀬 みちる
山梨大学(院)
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深澤 真也
山梨大学大学院情報工学システム系
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小堀 孝哉
山梨大学大学院
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菱川 正毅
山梨大学工学部
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志鎌 耕一郎
山梨大学大学院
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後藤 元信
熊本大学バイオエレクトリクス研
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松原 正弘
山梨大院
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近藤 英一
山梨大学大学院情報工学システム系
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中村 正信
山梨大学大学院医学工学総合研究部機械システム工学専攻
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渡邉 満洋
山梨大学 工学部
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望月 裕文
山梨大学 工学部
著作論文
- 超臨界流体中での化学的薄膜堆積--なぜ被覆性・充填性に優れているのか (小特集 超臨界流体と表面処理技術)
- 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討
- 超臨界流体中での化学的薄膜堆積 : なぜ被覆性・充填性に優れているのか
- 超臨界流体を用いたCu薄膜の作製と半導体素子の配線・実装応用
- 超臨界流体
- 21114 Siナノホールの作製と超臨界CO_2によるCu埋め込み(配線技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 21113 稼働時のULSIにおいて多ビット配線まわりのlow-k材料に加わる熱応力の増大と危険性(配線技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 21704 超臨界流体による次世代製膜・埋め込み技術 : 「全流体式」フロー超臨界薄膜堆積装置の製作(配線1,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 超臨界流体を利用した薄膜形成技術とMEMS・NEMSプロセス応用 (貫通電極・貫通配線のマテリアル,加工技術)
- 704 超臨界温泉の研究 : 超臨界水中への鉱物融解可能性の基礎検討(計測・制御)
- 超臨界流体を利用した薄膜形成技術
- 20112 超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術 : フロー式成膜実験装置を用いた堆積特性の検討(機械工学が支援する最先端デバイス技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 熱フィラメント水素ラジカル源を用いたCu表面処理(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- Deposition of Ru Thin Films from Supercritical Carbon Dioxide Fluids
- 20708 超臨界二酸化炭素を用いた微細配線形成技術 : 連続・フロー式成膜実験装置の開発(機械工学が支援する半導体製造技術(II),OS13 機械工学が支援する半導体薄膜製造技術)
- 超臨界CO_2メタライゼーション : Ru堆積とCu/Ru/絶縁膜構造の実現
- 10GHzを超えるクロックのキャビティによる伝達方法とその特性
- 超臨界CO_2を用いた超微細加工
- Deposition of Cu and Ru Thin Films in Deep Nanotrenches/Holes Using Supercritical Carbon Dioxide
- 超臨界流体を利用した一貫メタライゼーションプロセスの可能性(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)
- 超臨界流体を利用した配線形成技術
- 多孔質低誘電率膜の微細構造
- 多孔質低誘電率薄膜の微細構造
- 超臨界流体を用いたCu薄膜堆積 : 成膜特性検討と貫通電極プロセスへの適用の試み
- 21407 フロー超臨界薄膜装置による薄膜の堆積特性と長時間成膜への適用(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 702 超臨界流体を用いた多孔性カーボン上への金属微粒子担持(材料力学I)
- 超臨界CO_2中堆積法を利用した活性炭表面へのPtナノ粒子担持
- Preparation of Activated-Carbon-Supported Platinum Nanoparticles using Supercritical Fluid Chemical Deposition
- 超臨界流体を利用した生体組織のメタライズ