松原 正弘 | 山梨大学 大学院医学工学総合教育部
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概要
関連著者
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松原 正弘
山梨大学 大学院医学工学総合教育部
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近藤 英一
山梨大
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近藤 英一
山梨大学 大学院医学工学総合研究部
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近藤 英一
山梨大学大学院医学工学総合研究部情報システム工学系(機械情報システム専攻)
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近藤 英一
山梨大学
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松原 正弘
山梨大院
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松村 道雄
大阪大学有機光工学研究センター
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近藤 英一
山梨大学大学院
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松原 正弘
山梨大学大学院
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松村 道雄
大阪大
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玉井 架
山梨大
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李 佳龍
大阪大
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深澤 直樹
山梨大院
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竹内 裕人
山梨大
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志村 勇紀
山梨大
著作論文
- 3次元集積回路電極用Siマイクロ孔内側壁に超臨界流体を利用してCuを堆積した際の被覆特性の検討
- 超臨界流体を用いたCu薄膜の作製と半導体素子の配線・実装応用
- 21114 Siナノホールの作製と超臨界CO_2によるCu埋め込み(配線技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 超臨界流体を用いたCu薄膜堆積 : 成膜特性検討と貫通電極プロセスへの適用の試み
- 21407 フロー超臨界薄膜装置による薄膜の堆積特性と長時間成膜への適用(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 20302 超臨界CO_2を用いたCu薄膜の大面積堆積へのアプローチ(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(1),オーガナイズドセッション)