薄膜装荷ランガサイト基板上の高結合・高安定ラブ波型SH波
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概要
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本報告では,90°X伝搬ランガサイト基板(オイラー角:[0°,θ,90°])上のラブ波型Shear-Horizontal Wave(SH波)に対して,高密度金属膜(金膜)や誘電体の中でも比較的密度の大きな五酸化タンタル薄膜を基板上に装荷した場合の伝搬特性を検討した結果について述べている.薄膜装荷によって弾性波エネルギーが基板表面に集中し,結合係数が最大で約1%まで増大すること,1次遅延時間温度係数がゼロ,2次温度係数が約70×10^<-9>/℃^2の温度特性が得られることを理論的,実験的に明らかにしている.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-09-22
著者
-
中川 恭彦
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
垣尾 省司
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
垣尾 省司
山梨大学医学工学総合研究部
-
野沢 允也
山梨大院・医工
-
野沢 允也
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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