A-11-4 アモルファスTa_2O_5薄膜のSAW伝搬特性に対するロングスロースパッタ成膜の効果(A-11.超音波,一般セッション)

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概要

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• 2012-08-28

著者

• 垣尾 省司

  山梨大学大学院医学工学総合研究部

• 保坂 桂子

  山梨大学大学院医学工学総合研究部

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