2P-30 Ta_2O_5薄膜/Si基板を用いた圧電薄膜共振子の作製(ポスターセッション)
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-12-06
著者
-
垣尾 省司
山梨大院医工
-
中川 恭彦
山梨大院医工
-
中川 恭彦
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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垣尾 省司
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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垣尾 省司
山梨大学医学工学総合研究部
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中川 恭彦
山梨大医工
-
中川 恭彦
山梨大学
-
土屋 彰教
山梨大院医工
-
土屋 彰教
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
中川 恭彦
山梨大・医工
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