高周波スパッタリング法により作製されたアモルファスTa_2O_5薄膜の音響特性評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
高周波スパッタリング装置により成膜したアモルファスTa_2O_5薄膜の基礎的な音響特性を,すだれ状電極による弾性表面波(SAW)伝搬特性と,直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムによる漏洩弾性表面波(LSAW)伝搬特性により評価した.128°YX-LiNbO_3上のレイリー型SAWと,36°YX-LiTaO_3上の横波型SAWの位相速度を用いて,アモルファスTa_2O_5薄膜の弾性定数の成膜条件依存性を検討した結果,ターゲット径が大きい成膜装置では,密度が高く,弾性定数が大きい薄膜が得られることがわかった.また,LFB-UMCシステムにより測定したTa_2O_5/SiO_2試料上のLSAWの位相速度と規格化伝搬減衰は,算定された定数を用いた理論値と良く一致し,成膜装置の相違による音響特性の差異が明瞭に検知されることがわかった.
- 2011-09-19
著者
-
垣尾 省司
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
櫛引 淳一
東北大学大学院工学研究科
-
大橋 雄二
東北大学大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大学大学院工学研究科
-
櫛引 淳一
東北大院・工
-
櫛引 淳一
東北大 大学院工学研究科
-
荒川 元孝
東北大院工
-
保坂 桂子
山梨大学大学院医学工学総合研究部
関連論文
- 2-04P-23 弾性表面波を用いたタンデム導波路型AOMによる周波数シフト帰還型レーザー発振(ポスターセッション 2)
- A-3 圧電性Ta_2O_5単結晶薄膜の光学特性(超音波物性・材料、フォノン)
- 圧電性Ta_2O_5単結晶薄膜の作成(一般・材料)
- P3-11 六方晶系圧電単結晶の高精度音響関連物理定数決定に関する理論的検討(ポスター発表)
- ダイヤモンド単結晶の基礎音響特性および格子定数測定(非線形・一般)
- 超音波デバイス 広帯域可視光変調素子を用いた簡易なRGB光同時変調システム
- LFB超音波材料解析システムによるTiO_2-SiO_2ガラスの脈理の評価法 : 内部構造の実験的検討
- 1P3-7 弾性表面波を用いたタンデム音響光学周波数シフタの高効率化(ポスターセッション)
- P3-63 弾性表面波を用いた導波路型音響光学変調素子の光回折特性の改善(ポスターセッション3(概要講演))
- 弾性表面波を用いた導波路型音響光学変調素子の光回折特性とBPM解析(適応制御・計測技術, 高効率FEC技術, パフォーマンスモニタリング技術, 一般)
- 弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザへの応用(AO素子)(光-超音波エレクトロニクス論文特集)
- 弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザーへの応用
- 弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザーへの応用(光無線システム(ROF, FWA等),光映像伝送(CATV含む,光アクセスシステム),一般)
- H型導波路を用いた超伝導帯域幅チューナブルフィルタの検討(マイクロ波,超伝導)
- チューナブル高温超伝導フィルタの新しいトリミング技術の実験的検討(マイクロ波,超伝導)
- LFB超音波材料解析システムによる石英ガラス上のZnO多結晶薄膜の評価
- LFB/PW超音波材料解析システムを用いたZnO単結晶の音響特性の測定
- Sr_3TaGa_3Si_2O_, Sr_3NbGa_3Si_2O_単結晶の音響関連物理定数の測定
- 3J1-3 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を用いた4H-SiC単結晶の評価(超音波物性・光超音波)
- H型導波路を用いた超伝導帯域幅チューナブルフィルタの検討(マイクロ波,超伝導)
- 3P3-5 弾性表面波を用いた音響光学変調素子による簡易なRGB光同時変調(ポスターセッション)
- マイクロLFB超音波デバイスの開発
- P2-20 コングルエントLiNbO_3単結晶の超音波マイクロスペクトロスコピー(ポスターセッション2(概要講演))
- コングルエントLiNbO_3単結晶の超音波マイクロスペクトロスコピー(一般・材料)
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの評価
- LFB超音波材料解析システムによる漏洩弾性表面波伝搬特性の測定モデル
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるゼロ膨張ガラスの超精密評価(最新の超音波計測技術)
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いたスート法により作製したTiO_2-SiO_2超低膨張ガラスの評価
- 超音波マイクロスペクトロスコピーと材料評価法の開発
- 超音波マイクロスペクトロスコピーと材料評価法の開発
- 石英系ガラスの超音波スペクトロスコピー
- 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる極端紫外線リソグラフィー用超低膨張ガラスの超精密評価法の開発
- LFB超音波材料解析システムによるEUVL用TiO_2-SiO_2超低膨張ガラス基板の評価・選別法の検討(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
- LFB超音波材料解析システムの測定再現性の改善
- LFB超音波材料解析システムの測定再現性の改善
- LFB/PW超音波材料解析システムによるClass32結晶の音響関連物理定数の一決定法
- PD2 直線集束ビーム超音波顕微鏡によるLiNbO_3単結晶の化学組成評価(バルク波デバイス,ポスターセッション2)
- La_3Ta_Ga_Al_O_単結晶の音響関連物理定数
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの仮想温度評価に関する検討
- P1-8 2元高周波スパッタ法によるKNbO_3薄膜の作製と評価(ポスターセッション1(概要講演))
- LFB超音波材料解析システムによる損失のある試料に対する漏洩弾性表面波伝搬特性の測定
- チューナブル高温超伝導フィルタの新しいトリミング技術の実験的検討(マイクロ波,超電導)
- C-2-53 π型導波路にオープンスタブを付加した帯域幅チューナブルフィルタの検討(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を用いたSiC単結晶の基礎音響特性評価(アコースティックイメージング,一般)
- 直線集束ビーム/平面波超音波材料解析システムによるAlN単結晶の音響関連物理定数決定に関する検討
- 1-01P-62 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるAIN単結晶の評価(ポスターセッション 1)
- トピックス68 超音波顕微鏡(〈特集〉-音響学における20世紀の成果と21世紀に残された課題-)
- D-10 生体超音波スペクトロスコピー・システムによる生体物質の音響特性の周波数依存性解析法(計測法)
- 生体超音波スペクトロスコピー・システムによる生体物質の音響特性の周波数依存性解析法
- LFB/PW超音波材料解析システムによる天然水晶と人工水晶の音響特性の比較
- LiNbO_3, LiTaO_3単結晶の音響関連物理定数の化学組成比依存性
- SAWデバイス用人工水晶の音響関連物理定数の精密測定
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術と石英ガラスの評価への応用
- 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の音響関連物理定数の決定 (超音波)
- 1P4-1 ラム波型弾性波素子基板の伝搬特性(ポスターセッション)
- Ta_2O_5薄膜/Si基板を用いた圧電薄膜共振子の作製
- 2P-30 Ta_2O_5薄膜/Si基板を用いた圧電薄膜共振子の作製(ポスターセッション)
- C-2-54 ストリップライン構造を用いた送信用超伝導デュアルモードパッチフィルタの小型化(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- 2P-31 超臨界CO_2中における弾性表面波共振子の振舞い(ポスターセッション)
- 1Pb-37 弾性表面波による光弾性効果を用いた高速応答TE-TMモード変換素子(ポスターセッション)
- 3P3-11 逆プロトン交換基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性解析(ポスターセッション)
- 3P3-4 ラム波を用いた高効率なモード変換器(ポスターセッション)
- 3P1-26 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製と評価(ポスターセッション)
- 1P5-10 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製(ポスターセッション)
- 1P5-8 逆プロトン交換LiNbO_3基板上のリーキー表面波伝搬特性(ポスターセッション)
- 1P3-8 弾性表面波を用いた広帯域可視光変調素子(ポスターセッション)
- 1J3-2 ラム波を用いた高効率な光モード変換器(光-超音波エレクトロニクス/水中音響)
- 高周波スパッタによる高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製
- 逆プロトン交換LiNbO_3基板上の漏洩弾性表面波伝搬特性
- 光導波路を用いたバリアー放電壁面近傍励起種の吸収計測
- ラム波の特長を利用したガスセンサの基本的検討
- 2-01P-05 高周波スパッタによる高配向KNbO_3薄膜の作製と評価(ポスターセッション 2)
- 1-06P-39 逆プロトン交換LiNbO_3上の弾性表面波特性(ポスターセッション 1)
- ラム波型弾性波素子用基板の温度特性(超音波エレクトロニクス)
- ラム波型弾性波素子用基板の温度特性
- ラム波型弾性波素子用基板の温度特性
- AS-2-11 逆プロトン交換LiNbO_3基板上の縦型漏洩弾性表面波の伝搬特性(ネットワーク品質,トラヒック計測,サービス品質,一般)
- 逆プロトン交換10°Y-X LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性
- 2-06P-32 TeO_2装荷Y-X LiTaO_3を用いたラブ波型SAW共振子(ポスターセッション 2)
- P1-14 高密度薄膜装荷ランガサイト基板上のラブ波型SH波を用いたSAW共振子(ポスターセッション1(概要講演))
- 薄膜装荷ランガサイト基板上の高結合・高安定ラブ波型SH波
- 1-05P-32 ラム波の特長を利用した水素ガスセンサ(ポスターセッション 1)
- P3-62 ラム波による側圧を用いた光ファイバー光の偏波面回転(ポスターセッション3(概要講演))
- P1-10 ラム波型弾性波素子用基板の温度特性(ポスターセッション1(概要講演))
- SAWパワーを有効に利用する偏光面制御素子
- 超音波デバイス Ta2O5薄膜/Si基板を用いた圧電薄膜共振子の作製
- 超音波デバイス 弾性表面波を用いた導波路型音響光学変調素子の光回折特性とBPM解析
- C-2-38 積層型給電を用いた送信用超伝導デュアルモードフィルタの耐電力特性の改善(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス,一般セッション)
- A-11-4 アモルファスTa_2O_5薄膜の音響関連物理定数の成膜条件依存性(A-11.超音波,一般セッション)
- 逆プロトン交換による縦型漏洩弾性表面波の低損失化
- Ti拡散回転YカットLiNbO_3光導波路を用いた音響光学ブラッグ回折
- 1J1-4 高周波スパッタリング法により作製されたアモルファスTa_2O_5薄膜の音響特性評価(超音波物性,材料,フォノン物理,光超音波エレクトロニクス)
- 高周波スパッタリング法により作製されたアモルファスTa_2O_5薄膜の音響特性評価
- 2Pb3-8 逆プロトン交換による縦型漏洩弾性表面波の低損失化(ポスターセッション)
- 漏洩弾性表面波による逆プロトン交換LiNbO_3光導波路の偏波制御
- 3Pa3-7 超臨界CO_2中における弾性表面波共振子の共振特性(ポスターセッション)
- 超臨界CO_2中における弾性表面波共振子の共振特性
- A-11-4 アルミナ薄膜装荷LiNbO_3基板上の縦型漏洩弾性表面波(A-11.超音波,一般セッション)
- 逆プロトン交換10° Y-X LiNbO_3基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性
- A-11-4 アモルファスTa_2O_5薄膜のSAW伝搬特性に対するロングスロースパッタ成膜の効果(A-11.超音波,一般セッション)