逆プロトン交換LiNbO_3基板上の漏洩弾性表面波伝搬特性
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概要
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逆プロトン交換法を利用すると,弾性定数が低減したプロトン交換層を基板内部に埋め込むことができるため,バルクと同等の特性をもつ表層の逆プロトン交換層で結合係数の低減を防ぎ,埋め込んだプロトン交換層で漏洩弾性表面波(Leaky SAW: LSAW)の伝搬減衰を抑圧させる基板構造が期待できる.本報告では,まず,回転YカットLiNbO_3(LN)に対して「空気/バルクLN層/弾性定数が低減したLN基板」の3層構造を仮定しLSAW特性を計算した.短絡表面ではゼロ減衰を示すY軸からの回転角が64°から5°までシフトすること,自由表面の位相速度が速い横波速度を超える回転角の範囲が拡大し,その境界では伝搬減衰が消失することを明らかにした.次に,41°Y-X LN基板上のLSAW伝搬損失を測定した結果,短絡表面ではプロトン交換層を埋め込むことによって,未処理の0.036dB/λから0.015dB/λに減少した.自由表面においても伝搬損失の減少が観測された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-05-23
著者
-
中川 恭彦
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
垣尾 省司
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
垣尾 省司
山梨大学医学工学総合研究部
-
中川 恭彦
山梨大医工
-
清水 秀徳
山梨大院・医工
-
中川 恭彦
山梨大学
-
清水 秀徳
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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