Variation of Radial Plasma Density Profile with the Excitation Frequency in a Magnetron-Type Plasma

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人応用物理学会の論文
• 1998-04-15

著者

• 中川 恭彦

  山梨大学大学院医学工学総合研究部

• 佐藤 徳芳

  東北大

• 深沢 塔一

  金沢工業大学機械系

• 中川 恭彦

  山梨大学工学部

• 佐藤 徳芳

  東北大学

• 中川 恭彦

  山梨大医工

• 佐藤 徳芳

  東北大学工学部電磁工学講座

• Takagi K

  Univ. Tokyo Tokyo Jpn

• 中川 吉郎

  大阪市立大学

• Wickramanayaka Sunil

  静岡大 電子工研

• Wickramanayaka S

  Anelva Corporation

• Sato N

  Okayama Univ. Okayama

• Noguchi S

  Department Of Physics And Electronics Osaka Prefecture University

• Sato N

  Tohoku Univ.

• Sato Noriaki

  Graduate School Of Science Tohoku University

• Sato Noriyoshi

  Department of Electronic Engineering, Tohoku University

• Nakagawa Y

  Yamanashi Univ. Kofu Jpn

• Sato N

  Dept. Of Electronic Eng. Tohoku University

• Sato Naoyuki

  Department Of Electric And Electronic Engineering Ibazuki University

• 深澤 塔一

  金沢工大

• Sato N

  Kyoto Univ. Kyoto Jpn

• Sato Noriaki

  Department Of Physics Tohoku University

• IIZUKA Satoru

  Department of Electronic Engineering,Tohoku University

• Sunil Wickramanayaka

  静岡大学電子工学研究所

• NAKAGAWA Yukito

  Anelva Corporation

• TSUKADA Tsutomu

  Anelva Corporation

• 中川 吉郎

  大阪市立大・工

• WICKRAMANAYAKA Sunil

  ANELVA Corporation

• LI Yunlong

  Sendai Research Laboratory, Kokusai Electric Co. Ltd

• TAKAGI Ken-ichi

  ANELVA Corporation

• LI Yunlong

  Dept. of Electronic Eng. Tohoku University

• Sato N

  Semiconductor Technology Development Group Semiconductor Solutions Network Company Sony Corporation

• Sato N

  Japan Meteorological Agency Tokyo Jpn

• Takagi K

  Institute Of Industrial Science University Of Tokyo

• 深沢 塔一

  金沢工業大学 機械・物質系

• Iizuka Satoru

  Department Of Electrical Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University

• Tsukada T

  Tdk Corp. Chiba Jpn

• Tsukada Tsutomu

  Anelva Corp.

• Sato Noriyoshi

  Department Of Electrical Engineering Tohoku University

• Wickramanayaka Sunil

  Anelva Corporation Head Office

関連論文

• 圧電性Ta_2O_5単結晶薄膜の作成(一般・材料)
• 弾性表面波を用いた導波路型音響光学変調素子の光回折特性とBPM解析(適応制御・計測技術, 高効率FEC技術, パフォーマンスモニタリング技術, 一般)
• 弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザへの応用(AO素子)(光-超音波エレクトロニクス論文特集)
• 弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザーへの応用
• 弾性表面波を用いた導波路型光周波数シフタと周波数シフト帰還型ファイバレーザーへの応用(光無線システム(ROF, FWA等),光映像伝送(CATV含む,光アクセスシステム),一般)
• High-Resolution Photoemission Study of UNi_2Al_3 and URu_2Si_2
• Optical Investigations of YbCrO_3 under High Magnetic Fields. II. Cr^-Yb^ Two-Exciton Absorption
• Optical Investigations of YbCrO_3 under High Magnetic Fields. I. Yb^ Absorption Spectra
• H型導波路を用いた超伝導帯域幅チューナブルフィルタの検討(マイクロ波,超伝導)
• 26aB59P 我が国の大学における核融合研究に関するアーカイブズ(加熱・加速, 磁場・電源, 炉設計, 新概念, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 27pA46P 我が国の大学における核融合研究に関する資料調査(トカマク、加熱、電源・マグネット超伝導技術、炉設計)
• C-2-75 π型導波路を用いた帯域幅チューナブルBPFの検討(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
• C-2-76 ストリップライン構造を用いた送信用超伝導フィルタの小型化(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
• C-2-66 周波数チューナブルマイクロストリップフィルタの1GHzチューニング(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
• C-2-65 チューナブルフィルタの入出力整合回路による特性改善(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
• H型導波路を用いた超伝導帯域幅チューナブルフィルタの検討(マイクロ波,超伝導)
• 30pZM-5 我が国の大学における核融合研究に関する資料調査 II
• 3P3-5 弾性表面波を用いた音響光学変調素子による簡易なRGB光同時変調(ポスターセッション)
• 26aB16P CCMDによる大気圧プラズマ生成とオゾン発生への応用(プラズマ基礎・応用)
• 微小重力下における球状拡散プラズマ中の微粒子挙動
• 22pYB-4 微小重力下微粒子実験用グリッドケージ内のプラズマ計測
• 31aZL-9 Q マシンプラズマ中の速度変調イオンビーム揺動における負イオン効果
• 30pZL-8 微小重力下におけるプラズマ中微粒子雲の形成過程
• 27aC29P 強結合微粒子群の渦流形成とその動的挙動(プラズマ基礎・応用)
• 26pA04 微小重力環境におけるプラズマ中微粒子の集団構造(プラズマ基礎・応用II)
• 微小重力環境におけるプラズマ中微粒子の集団的振舞
• プラズマ中に帯電し浮上するダイヤモンド微粒子の挙動と成長
• 微小重力環境プラズマにおける球対称微粒子雲の形成
• 27pA06P テスラ級強磁場下におけるプラズマ中微粒子雲回転に対する中性ガス圧力の効果(プラズマ基礎・応用)
• Π型導波路を用いた帯域幅チューナブルフィルタの実験的検討(マイクロ波超伝導/一般)
• ストリップライン構造を用いた高温超伝導送信用フィルタの基礎的検討(マイクロ波超伝導/一般)
• П型導波路を用いた帯域幅チューナブルフィルタの実験的検討(マイクロ波超伝導/一般)
• ストリップライン構造を用いた高温超伝導送信用フィルタの基礎的検討(マイクロ波超伝導/一般)
• Electronic Structures of CeNi_2Al_5 and CeNiAl_4 Studied by Photoelectron Spectroscopy : Condensed Matter: Electronic Properties, etc.
• Anomalous Transport Phenomena in SmS and TmSe with Pressure-Induced Valence Transitions
• イオンビーム照射による水晶振動子の周波数変動の理論解析(超音波エレクトロニクス)
• 酸素中噴霧水微粒子のバリア放電による有機汚染物質の分解
• パルスガス放電による水中有機染料の脱色
• イオンビーム照射における水晶振動子の周波数変動
• Ta_2O_5薄膜/Si基板を用いた圧電薄膜共振子の作製
• 2P-30 Ta_2O_5薄膜/Si基板を用いた圧電薄膜共振子の作製(ポスターセッション)
• Magnetic Properties of the Heavy-Fermion Antiferromagnet Ce7Ni3
• Magnetic Properties of the Heavy-Fermion Antiferromagnet Ce_7Ni_3
• Possible Spin-Fluctuation Mediated Superconductivity in UPd_2Al_3
• Spin Fluctuations in the Heavy Fermion Superconductor UPd_2Al_3 Studied by Neutron Inelastic Scattering
• Scaling Relations for the Production and Acceleration of a J×B Driven Rotating Plasma
• Recent Results of Rotating Plasma Experiments for Isotope Separation
• 弾性表面波研究からラム波研究への道(アコースティックイメージング,一般)
• X-Ray Photoelectron Spectroscopy Study of U (Rh_Pd_x)_3 Alloys
• 2P-31 超臨界CO_2中における弾性表面波共振子の振舞い(ポスターセッション)
• 1Pb-37 弾性表面波による光弾性効果を用いた高速応答TE-TMモード変換素子(ポスターセッション)
• 3P3-11 逆プロトン交換基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性解析(ポスターセッション)
• 3P3-4 ラム波を用いた高効率なモード変換器(ポスターセッション)
• 3P1-26 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製と評価(ポスターセッション)
• 高周波スパッタによる高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製
• 逆プロトン交換LiNbO_3基板上の漏洩弾性表面波伝搬特性
• チャンネルスパーク放電によるパルス高密度電子ビームの生成
• パルス電子ビームによる模擬排ガス中のNO_x除去
• 5p-YN-12 パルス大電流電子ビームの伝送、圧縮とその応用
• NO_x Removal in N_2 by Pulse Intense Electron Beam Irradiation
• Pulse Intense Electron Beam Irradiation on the Atmospheric Pressure N_2 Containing 200 ppm of NO
• Metamagnetic Transition and Phase Diagram of a Heavy Fermion Superconductor UPd_2Al_3
• Metamagnetic Transition of Heavy Fermion Uranium Compounds : Upd_2Al_3, URu_2Si_2 and UPt_3
• Si-Fullerene Compounds Produced by Controlling Spatial Structure of an Arc-Discharge Plasma
• 12p-A-3 Csプラズマ中のイオン波の伝搬
• Twin-T型複合水晶共振回路の周波数方程式
• Twin-T型複合水晶共振回路の周波数可変特性
• 5a-Q-9 Current-Driven Alfven Instability
• 負荷容量調整時の周波数変化とその変位分布依存性(一般・材料)
• 窒素ガス中パルス電子ビーム照射によるチタニュウムの表面改質
• Initial Oxidation Processes of H-Terminated Si(100) Surfaces Analyzed using a Random Sequential Adsorption Model
• Influences of Impurities on Oxidation Processes of Si(100) Substrates
• Influences of Impurities on Oxidation Processes of Si(100) Substrates
• Variation of Radial Plasma Density Profile with the Excitation Frequency in a Magnetron-Type Plasma
• Modified Magnetron Type Plasma Source for Etching Applications
• Fabrication of Thin-Film Phase Grating Using Surface Acoustic WavesZ
• Fabrication of Thin Film Phase Grating Using Surface Acoustic Waves
• Decomposition of Chlorofluorocarbon by Pulse High-Current Discharge and Fast Burning through Spark Discharge
• SiO_2 Etching Using M=0 Helicon Wave Plasma
• Decomposition of Low-Pressure Pollutant by Repeated Pulse Microwave Discharge
• Application of HfSiON to Deep Trench Capacitors of Sub-45nm Node Embedded DRAM
• ラム波の特長を利用したガスセンサの基本的検討
• 5p-D-4 準定常高密度プラズマ源
• Probe Measurements in a Negative Ion Plasma
• ラム波型弾性波素子用基板の温度特性(超音波エレクトロニクス)
• ラム波型弾性波素子用基板の温度特性
• ラム波型弾性波素子用基板の温度特性
• 水晶基板を用いたラム波型共振器
• Interannual Variability of the Indian Summer Monsoon and Internal Variability in the JMA Global Model Simulations
• SIMULATIONS OF INTERANNUAL VARIABILITY OF THE INDIAN SUMMER MONSOON USING THE JMA MODEL
• TROPICAL INTRA-SEASONAL OSCILLATION (30-60 DAY) DURING N. H. SUMMER IN THE JMA MODEL SIMULATIONS
• 逆プロトン交換10°Y-X LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性
• 薄膜装荷ランガサイト基板上の高結合・高安定ラブ波型SH波
• 弾性表面波研究からラム波研究への道
• SAWパワーを有効に利用する偏光面制御素子
• 3p-W-8 C_プラズマにおける低周波振動
• SA-6-1 圧電性Ta_2O_5単結晶薄膜の作成とSAWデバイスへの応用(SA-6. 薄膜技術を利用した最近の弾性波デバイス)
• 28p-Y-9 負イオンプラズマ中のイオン波の伝搬特性II
• 逆プロトン交換10° Y-X LiNbO_3基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性
• 大面積均一プラズマの生成と電子温度制御

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク