SA-6-1 圧電性Ta_2O_5単結晶薄膜の作成とSAWデバイスへの応用(SA-6. 薄膜技術を利用した最近の弾性波デバイス)

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-03-08

著者

• 高橋 真志

  山梨大学大学院医学工学総合研究部

• 中川 恭彦

  山梨大学大学院医学工学総合研究部

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