3P1-26 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製と評価(ポスターセッション)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2009-11-18
著者
-
中川 恭彦
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
垣尾 省司
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
垣尾 省司
山梨大院・医工
-
中川 恭彦
山梨大院・医工
-
垣尾 省司
山梨大学医学工学総合研究部
-
中川 恭彦
山梨大医工
-
三井 剛
山梨大院・医工
-
中川 恭彦
山梨大学
-
土屋 彰教
山梨大院医工
-
土屋 彰教
山梨大学大学院医学工学総合研究部
-
土屋 彰教
山梨大院・医工
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