三井 剛 | 山梨大院・医工
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概要
関連著者
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垣尾 省司
山梨大学大学院医学工学総合研究部
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垣尾 省司
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三井 剛
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中川 恭彦
山梨大学
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三井 剛
山梨大学大学院医学工学総合研究部
著作論文
- 3P1-26 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製と評価(ポスターセッション)
- 1P5-10 高周波スパッタリング法による高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製(ポスターセッション)
- 高周波スパッタによる高配向Ta_2O_5圧電薄膜の作製