逆プロトン交換による縦型漏洩弾性表面波の低損失化
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概要
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縦型漏洩弾性表面波(Longitudinal-type Leaky SAW: LLSAW)は,バルク縦波に近い位相速度を有しており,SAWデバイスの高周波化に有利な伝搬モードの一つであるが,伝搬減衰が非常に大きい.本報告では,LLSAWの伝搬減衰を低減させるため,弾性定数が低減した基板とバルクLN層を組み合わせた基板構造を提案する.LLSAWに対して大きな結合係数K^2をもつX-36°Y LiNbO_3 (LN)に提案構造を適用すると,短絡表面のLLSAW伝搬減衰の計算値は,あるバルク層厚においてゼロ減衰を示した.逆プロトン交換(Reverse Proton Exchange: RPE)法を採用し,X-36°YLN基板上に提案構造を作製した結果,試料上の一部に,レイリー波のK^2が未処理基板の約8割まで回復した領域が存在した.この領域では,未処理試料のLLSAW特性と比較すると,自由表面の伝搬損失が約1/3に減少,挿入損失が大幅に低減,共振特性が格段に向上した.
- 2011-10-24
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