A-3 圧電性Ta_2O_5単結晶薄膜の光学特性(超音波物性・材料、フォノン)
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概要
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We attempted to grow Ta_2O_5 single crystal thin film on a single crystal substrate(X-cut LiTaO_3) by using a linear rapid thermal annealing method. In order to obtain the refractive index of the thin film, m-line method was used. From this result, we proved optical anisotropy of the thin film, and the value of refractive index difference Δ n=0.031 is larger than the value of other optical crystal. In order to obtain photo-elastic constant of the thin film, we measured Laman-Nath diffracted light intensity about LiTaO_3 and (Ta_2O_5/LiTaO_3) , respectively. From these results, photo-elastic constant of the thin film was about 6-10 times than one of LiTaO_3.
- 2006-11-15
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