弾性表面波による光弾性強調現象とその光変調素子への応用 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
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概要
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光薄膜導波路の作成時に基板上に弾性表面波を励振させておくと薄膜の光弾性定数が約2倍に大きくなることを発見した.本研究は,この弾性表面波による光弾性強調現象について理論と実験から検討したものである.酸化物中で最も安定な五酸化タンタル(Ta_2O_5)を薄膜導波路とする(Ta_2O_5/SiO_2/128°YX-LiNbO_3)構造を用い,TE,TMモードが導波可能な光音響偏向素子を作成し,その偏向効率から薄膜の光弾性定数(p_<11>,p_<12>)を見積もった.その結果,p_<11>は2.27倍,p_<12>は2.19倍に大きくなった.また,この現象の応用として,TMモードの導波光において低パワー駆動可能な光偏向素子が実現できた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-25
著者
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