プロトン交換基板上に現れる非分散性SAWの特性
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概要
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コムフィルタ法を用いてプロトン交換128°Y-X LiNbO_3上のSAW位相速度を測定した.その結果, 基板表面を電気的に短絡した場合の位相速度が, ある交換深さから非分散性を示し, 自由表面の位相速度よりも速いという"逆転現象"が現れること, その位相速度はプロトン交換層の弾性定数の大小に依存していることを明らかにしている.また, 弾性定数を低減させた層を持つ構造に対する計算結果より, レイリー波の位相速度が非分散性SAWの位相速度よりも遅い場合には, 励振されたレイリー波から非分散性SAWに移行すると推察されることを示している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-11-16
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