プロトン交換による漏洩弾性表面波のバルク波放射の抑圧
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概要
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漏洩弾性表面波(LSAW)の励振時,および伝搬の際に基板内部に放射されるバルク波を,基板表面にプロトン交換層を形成することによって抑圧できることを示している.伝搬路の電気的条件が自由表面であっても,粒子変位分布がプロトン交換によって基板表面ヘ集中することを理論的に明らかにしている.この結果が示唆している通り,41゜Y-X LiNbO_3基板上のIDTから放射されるバルク波を,プロトン交換によってゼロにまで抑圧できることを実験的に明らかにしている.さらに伝搬の際の漏れ損失が,プロトン交換によって約1/3に低減することを実験的に明らかにしている.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-05-23
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