弾性表面波アシストによる2次元薄膜位相格子の作成
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概要
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スパッタリング法によるTa_2O_5アモルファス薄膜の作成時に, 基板上にあらかじめ弾性表面波定在波を励起しておくと, 薄膜の膜厚と内部屈折率が周期的に変動する位相格子が生成されることことを初めて明らかにした.このような現象は, これまでに報告例がなく, 弾性表面波の新しい応用として, 2次元位相格子への応用とマイクロ薄膜レンズへの応用の可能性を示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-11-16
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