ラム波型弾性波素子用基板の温度特性
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概要
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本報告ではAT-Cut水晶基板を伝搬するラム波の波動解析と良好な周波数温度特性を示すカット角を探し出し, 理論的および実験的に検討を行った.その結果, 一次温度係数が零であり, 2次, 3次特性を示す高安定な周波数温度特性を持つラム波型基板を得ることが出来た.AT-Cut水晶基板を用いた2次の周波数温度特性を示すモードの測定では良好な周波数温度特性が得られ, X軸方向伝搬, Y'方向(面内でX軸に垂直な方向)伝搬の両方において理論値と実験値がほぼ一致した.また, AT-Cut水晶基板で周波数温度特性が高安定な3次曲線を示すラム波モードを理論と実験により求めた.
- 2005-09-22
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