イオンビーム照射における水晶振動子の周波数変動
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概要
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イオンビームエッチングによる水晶振動子の周波数調整では,エッチング直後に周波数がシフトする現象が生じ,実用化を妨げた大きな原因となっていた.実用化された現在でも理論的解析はなされていない.そこで,この周波数変動の理論的解析を行った.イオンビーム照射時の水晶振動子の温度分布変化を差分法で求め,径方向の温度分布変化と周波数変動の持つ時定数とが等しい事が分かった.そこで円柱座標1次元モデルとして,温度分布より熱応力分布を求め,この応力による弾性定数の変化より,共振周波数の変化量を摂動法より求めた.解析はAT cut, BT cut及びSC cutについて行い,ともに計算と実験結果はよく一致した.これより,イオンビーム照射による温度分布変化で熱応力が生じ,弾性定数が変化して周波数が変化することが分かった.
- 2006-07-05
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