超音波デバイス イオンビームエッチングによる水晶振動子の周波数変動

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概要

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著者

• 中川 恭彦

  山梨大学工学部

• 中川 恭彦

  山梨大医工

• 塩野 忠久

  (株)昭和真空

• 長田 祐介

  (株)昭和真空

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