層構造弾性表面波基板の2次温度係数制御
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概要
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[圧電薄膜/基板]構造の弾性表面波基板において,速度の温度特性の実験値をもとに,最小2乗法を用いて,Ta_2O_5薄膜と,ZnO薄膜の弾性定数の温度係数を決定した.また,[圧電薄膜/圧電薄膜/基板]構造の2層モデルについて,弾性表面波速度,電気機械結合係数,温度特性の計算を行い,1次零温度係数を与える膜厚の組合せを求めた.更にZnO薄膜とTa_2O_2薄膜がそれぞれ異符号の2次遅延時間温度係数をもつことに注目し,2層構造基板において,1次と2次温度係数の制御方法を提案し,適当な膜厚において3次特性を示す高安定な基板が存在することを理論および実験的に明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-25
著者
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